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PDVK 低压气动隔膜阀

 

PDVK 低压气动隔膜阀

 

 

 

ATD

                                              

 

特点:

l        微粒产生最小化

l        最小的湿气、氧气和氢气分流

l        激光标记型号;材质经过工厂出厂测试

l        哈氏合金C-22TM并且能够根据要求定制外形

l        低内部流量

l        减少了内部的体积

l        在洁净室中进行电解抛光,D.I.水处理,装配,测试和包装

 

技术指标

       

1/4"

3/8"1/2"

3/4"

CV       

0.3

0.7

0.7

       

4.5mm

7.8mm

7.8mm

最大工作压力(G.

10kgf/cm2(0.98MPa)

最大工作温度

PCTFE:-10-65/PFA:-10-120/PI:-10-150

内泄漏标准(He   

测试压力≤1×10-2 Torr 

 

测试时间≥15    

1×10-9 atm·cc/sec(1×10-10Pa·m3/s)

外泄漏标准(He  

测试压力≤1×10-2 Torr  

 

测试时间≥1分钟

1×10-9 atm·cc/sec(1×10-10Pa·m3/s)

微粒检测(只用于EP

压力:60-80psi 气体N2 

 

样品流量:1CFM 0.1μm以上

计量不到

 

    

S

4

PDV

VM

C

X47

C

S-4-PDV-VM–-C-X47-P

阀体材质

S 

 

S:SUS316单级;

D:SUS316双级;

4S:SUS304

    

 

4 

 

41/4″;

63/8″;

81/2″;

123/4

    

 

PDV

 

PDVK黑色手柄

   

 

VM

 

VM:VCR

VF:VCR

SW:卡套;

TW:对焊

操作方式

 

C

 

C:常闭;

O:常开

   

 

X47

 

X47: 恒定排放φ0.3;

X59: 恒定排放φ0.6

    

 

P

APAP级;

空白:BA级;

PEP

其他材质: 底座:PCTFE/PI/PFA; 隔膜:哈氏合金; 手柄: