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SEC-E40 质量流量控制器

 

SEC-E40 质量流量控制器

 

 


(制造单位:HORIBA STEC有限公司)

适用于从微小流量到大流量控制的低成本型号

概要

·  适用于广泛范围的流量控制:在同一系列中,适于从0.2SCCM500SLM(N2)的流量控制

·  适用于广泛的用途:在普通产业市场中,拥有众多的销售业绩,引以为豪。

·  低成本:产品阵容中有力求具有成本优势的型号: SEC-E40MK3/E50MK3

 

技术规格

型号

SEC- (质量流量控制器)

E40/E40MK3

E50/E50MK3

SEF- (质量流量计)

E40

E50

适用气体种类*1

非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2O2、空气、H2ArHe)

气体接触部材质

SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢

阀门型号

非通电时 关闭

标准流量量程 (N2相应F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范围
(
适于SEC系列)

2100% F.S.

流量测量范围
(
适于SEF系列)

0100% F.S.

响应速度

1秒以内(T98)

流量精度

±1% F.S.

直线性

±0.5% F.S.

反复性

±0.2% F.S.

工作差压值值
(
适于SEC系列)

10 SCCM5 SLM50300kPa(d) 1030 SLM:100300kPa(d)

使用压力
(
适于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐 压

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pam3/s(He)以下

使用环境温度

550(精度的确保:1535)

流量设定信号

0.15VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2100% F.S.

流量输出信号

05VDC(最小负荷电阻2kΩ)

驱动电源

+15VDC ±5% 50mA

 -15VDC ±5% 150mA 3VA

15VDC ±5% 50mA

−15VDC ±5% 200mA 3.9VA

标准接头*2

1/4SWL 类型

 

型号

SEC- (质量流量控制器)

E60

E70

E80

SEF- (质量流量计)

E60

E70

E80

适用气体种类*1

N2O2AirH2ArC3H8CH4C4H10

N2O2AirH2

气体接触部材质

SUS316.氟化橡胶、磁性不锈钢

阀门型号

非通电时 关闭

标准流量量程 (N2相应F.S.)

50/100 SLM

200 SLM

300/500 SLM

流量控制范围 (适于SEC系列)

5100% F.S.

流量测量范围 (适于SEF系列)

0100% F.S.

响应速度

1秒以内(T98)

2秒以内(T98)

流量精度

±1% F.S.

±2% F.S.

直线性

±0.5% F.S.

±1% F.S.

反复性

±0.5% F.S.

±1% F.S.

工作差压值值(适于SEC系列)

100300kPa(d)

200350kPa(d)

使用压力 (适于SEF系列)

350kPa(G)以下

耐 压

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-7Pam3/s(He)以下

450kPa(G)加压10分钟减压1%以内

使用环境温度

545(精度的确保:1535)

流量设定信号

0.255VDC(输入阻抗1MΩ以上)/5100% F.S.

流量输出信号

05VDC(最小负荷电阻2kΩ)

驱动电源

15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA

标准接头*2

3/8SWL 类型

1/2SWL 类型

*1:关于记载以外的气体种类,请另行咨询协商。
*2
也可以适用标准接头以外的接头。请另行咨询协商。
SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭载有自动清零功能。
入口压力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3:最大值300kPa(G)SEC-70/80:最大值350kPa(G)以下。
SCCMSLM是表示气体的流量单位(mL/minL/minat0101.3kPa)的记号。